中科院微电子台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

更新时间：2023-11-12

简要描述：

我研究室生产的KW型匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。

产品主要特点

1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。

2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	电子

中国科学院微电子研究所 KW-4A型台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

产品简介

我研究室生产的KW-4A型匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。

产品主要特点

1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。

2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。

3、采用双转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调，时间分别控制在1～18秒和3秒～1分钟。

4、具有定时功能。

5、测速采用光电的办法，产生光电脉冲，由晶体分频测速准确性高。

6、"吸片"采用电磁阀控制气路，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，适合流水线的工艺，提高了效率。

7、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音低。

性能指标：

参数	指标
调速范围和匀胶时间	Ⅰ档调速范围：500-2000转/分Ⅰ档匀胶时间：2-18秒 Ⅱ档调速范围：1300-8000转／分Ⅱ档匀胶时间：3-60秒
适用	Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶
电机功率	40W
LED数字显示	转速稳定度：±1％，胶的均匀性：±3％
真空泵抽气速率	≥60升／分
仪器尺寸	210×220×160mm