中科院微电子研究所KW-5型匀胶机/旋涂仪

更新时间：2023-11-12

简要描述：

中国科学院微电子研究所生产的KW-4A/KW-5型匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。

品牌	其他品牌	价格区间	1-5万
产地类别	国产	应用领域	生物产业,电子,航天

技术参数及要求：变频调速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
转速：500-5000 转/分
转速稳定性：±1%
旋涂均匀性：±5％
旋涂工艺阶段：2 段
旋涂时间：Ⅰ速0~18S；Ⅱ速0~60S
整机尺寸（长宽高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸机尺寸（长宽高）：425mm×500mm×190mm
电机功率：180W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料